Laboratórium optických metód

V laboratóriu optických metód sa analyzujú optické vlastnosti polovodičových štruktúr. Realizuje sa výskum reálneho vplyvu nehomogenít mikroštruktúry, porozity, fraktality a mikrodrsnosti, teploty a zmeny pri aplikácii technologických operácií formovania a pasivácie štruktúry. Experimentálne techniky sú založené na spektrálnej elipsometrii, reflektancii, Ramanovského rozptylu a FTIR spektrometrii.